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单极脉冲磁控溅射电源适用于金属、合金及石墨等靶材镀制金属膜、碳膜和部分氧化物、氮化物及碳化物膜。其优点是能明显改善靶面电荷积累现象，减少溅射靶表面的打火次数，提高膜层质量。输出波形为单极脉冲。电源具有平均电流稳流功能。
品名 脉冲磁控电源
型号 BP系列
输入 相数 三相 N
电压 380V
频率 50Hz
输入方式 4线（含零线）
输出 波形 脉冲
功率 10KW~100KW（可定制）
电压 0—1200V（可定制）
稳定度 ≤1%
电流 0—100A（可定制）
稳定度 ≤1%
纹波及杂讯 ≤2%
效率 ≥90%
控制 控制方式 标准方式：恒压/高低压切换
可选方式：恒流、恒压、恒功率可切换
控制接口
标准方式：面板手动
可选方式：面板手动、PLC模拟接口、RS485(Modbus)
保护 具备缺相、过热、限压、恒功率、过压、过流、短路、超载等保护功能
冷却 风冷或水冷
外型 防护等级 IP21
单元尺寸
(W*D*H) 箱体：440(W)X260(H)X580(D) （20KW风冷）
面板：482(W)X280(H)
重量 30KG（20KW）
备注
